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8英寸“超越摩尔”中试线正式启用

作者:上海兼其发布日期:2017-9-12

      由上海微技术工业研究院与Fab厂合作建设的8英寸“超越摩尔”研发制造基地落户上海嘉定,近5000平米洁净室、兼容CMOS工艺的8英寸研发中试线9月10正式投入运营。  
      

      据介绍,该中试线专注于传感器工艺开发验证,以及对新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点导入、配置了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。

      中科院微系统所所长王曦表示,超越摩尔领域有大量的创新研发非常倚重工艺线的配合,成熟的晶圆厂又不得不考虑产量的问题,无法承接创新团队将一个产品原型开发成成熟产品的漫长研发过程。工研院8吋线就是希望能打通产业化的最后一公里,把实验室成果转换成量产产品。

      这条有3000片设计产能的8英寸研发中试线,功能定位于承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接,从而提升研发的成功率。

      所谓“超越摩尔”是指,在成熟的工艺线上,实现设计、研发、制造非数字、多元化半导体技术与产品,力争在以传感器为核心器件的新兴技术领域和应用市场,摆脱对"摩尔定律"的遵循。

      据悉,为了实现孵化功能,由工研院、国家集成电路产业投资基金以及其他战略投资人共同发起的50亿元“超越摩尔”产业基金,也于同日签约设立,将为创新企业提供关键的早期支持,并配套全球化创新网络提供软硬件结合的孵化服务。

      工信部原副部长杨学山的将“传感”改为“感知”、华为VP楚庆的拥抱物联网、美国汽车制造商联盟副总裁Jonathan Weinberger对无人车市场的分析等,也都佐证了新兴市场中的巨大商机。